[发明专利]一种半导体清洗设备用六轴机械手有效
| 申请号： | 202111199967.3 | 申请日： | 2021-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN113635292B | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 华斌;李文轩 | 申请（专利权）人： | 智程半导体设备科技（昆山）有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/00 | 分类号： | B25J9/00;B25J19/00;B25J11/00 |
| 代理公司： | 北京市浩东律师事务所 11499 | 代理人： | 孙莉 |
| 地址： | 215316 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体清洗设备用六轴机械手，设置有支撑底座，所述支撑底座的顶部设置有第一轴；六轴机械手还包括活动板，且活动板的截面为“𠃎”形结构，并且“𠃎”形活动板的横形板通过夹持板表面开设的通槽设置在所述夹持板的内侧；阀板，固定在所述引导绳的另一端，所述夹持板内开设有密封的固定腔；牵引绳，其底部与所述阀板的上端面固定连接，所述连接腔的两侧分别设置有第一出风孔和第二出风孔。该半导体清洗设备用六轴机械手，在对半导体器件收容装置夹持过后，可通过吹风的方式将其内部浮灰吹落，为后续的清洗提供便捷，并且在夹持过程中，设有对半导体器件收容装置限位的结构，保证运送过程中不会出现掉落的现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 清洗 备用 机械手 | ||
【主权项】：
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