[发明专利]线宽参数测量方法、装置及图像处理设备在审
| 申请号： | 202111216710.4 | 申请日： | 2021-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN113935974A | 公开（公告）日： | 2022-01-14 |
| 发明（设计）人： | 张晓东;李锁印;韩志国;赵琳;许晓青;吴爱华 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/13;G06T7/143 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 张一 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供一种线宽参数测量方法、装置及图像处理设备。该方法包括：接收待测线宽样板的像素图像；获取标准线宽样板的标准线宽参数；根据像素图像确定待测线宽样板的像素线宽参数；根据标准线宽参数、像素线宽参数和转换关系确定待测线宽样板的真实线宽参数；其中，转换关系用于表征像素线宽参数和真实线宽参数之间的关系；或者，利用最小二乘法，对像素线宽参数进行亚像素边缘识别，并根据亚像素边缘识别的结果确定待测线宽样板的真实线宽参数。本发明能够提高测量线宽参数的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 参数 测量方法 装置 图像 处理 设备 | ||
【主权项】：
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