[发明专利]激光加工装置和激光束的观察方法在审
| 申请号： | 202111220323.8 | 申请日： | 2021-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN114453728A | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | 九鬼润一 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B23K26/00 | 分类号： | B23K26/00;B23K101/40 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 杨俊波;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供激光加工装置和激光束的观察方法，能够抑制光学部件的污染，并且能够容易地进行调整。激光加工装置包含：激光振荡器，其振荡出激光；第一聚光器，其对从激光振荡器射出的激光束进行会聚而照射至卡盘工作台所保持的被加工物；以及观察单元，其模拟地观察照射至被加工物的激光束的聚光点的状态。观察单元包含：第二聚光器，其在与卡盘工作台的保持面不同的方向上对激光束进行会聚；显微镜，其将通过第二聚光器而会聚的激光束放大；以及拍摄元件，其对显微镜所放大的激光束的聚光点进行观察。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 激光束 观察 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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