[发明专利]一种银钯铜合金靶材的制备方法在审
申请号: | 202111230964.1 | 申请日: | 2021-10-22 |
公开(公告)号: | CN114293155A | 公开(公告)日: | 2022-04-08 |
发明(设计)人: | 衷水平;范大游;唐定;林文贤;陈杭;苏秀珠;刘兴财;王俊娥;朱莞烨;沈青峰 | 申请(专利权)人: | 紫金矿业集团黄金珠宝有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/35;B22F3/00;B22F3/24;C22C5/06 |
代理公司: | 北京君琅知识产权代理有限公司 16017 | 代理人: | 陈建 |
地址: | 361100 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种银钯铜合金靶材的制备方法,利用可控气氛冷喷涂工艺制备银钯铜合金胚料,整个过程均在氩气保护氛围中进行,靶材的纯度高且氧含量低。另外,冷喷涂工艺中金属粉末高速撞击基体时发生塑性变形与冷焊接,然后通过轧制和热处理可以使各合金元素进一步均质化,因此银钯铜合金靶材的组织成分均匀、致密度大。利用本发明方法制备得到的银钯铜合金靶材可以达到以下技术指标:1)靶材的纯度≥4N,Fe、Si、Pb、Bi等金属杂质总和≤500ppm,氧含量≤150ppm;2)靶材的致密度≥99.8%;3)靶材的平均晶粒尺寸≤150μm,微观组织均匀。 | ||
搜索关键词: | 一种 铜合金 制备 方法 | ||
【主权项】:
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