[发明专利]基板载具检测装置和基板载具检测方法在审
| 申请号： | 202111241269.5 | 申请日： | 2021-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN113960449A | 公开（公告）日： | 2022-01-21 |
| 发明（设计）人： | 孙少东;袁广才;闫俊伟;张国才;董士豪;王成飞 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 魏艳新;姜春咸 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种基板载具检测装置和基板载具检测方法。所述基板载具检测装置，包括：承载架，用于承载待检测的基板载具；设置在承载架上的驱动机构，驱动机构位于基板载具至少一侧，驱动机构包括第一驱动组件和第二驱动组件，第二驱动组件设置在第一驱动组件上，第一驱动组件用于驱动第二驱动组件沿第一方向运动；设置于第二驱动组件上的至少一个检测探头，检测探头用于在第二驱动组件的驱动下沿第二方向运动，并用于确定检测探头的检测端与基板载具之间的距离参数，第二方向和第一方向交叉。 | ||
| 搜索关键词： | 基板载具 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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