[发明专利]半导体结构及半导体结构的制作方法在审
申请号: | 202111242748.9 | 申请日: | 2021-10-25 |
公开(公告)号: | CN116033738A | 公开(公告)日: | 2023-04-28 |
发明(设计)人: | 刘翔 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
主分类号: | H10B12/00 | 分类号: | H10B12/00;H01L21/762 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 李建忠;阚梓瑄 |
地址: | 230601 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本公开涉及半导体技术领域,提出了一种半导体结构及半导体结构的制作方法。半导体结构,包括:衬底;隔离结构,隔离结构形成于衬底内;字线,字线的部分位于隔离结构内;导电部,导电部位于隔离结构的底部,用于排斥电子。通过使得导电部位于隔离结构的底部,从而在字线打开时,隔离结构底部的导电部会排斥表面电子,从而阻断漏电路径,以此避免半导体结构出现漏电问题,改善半导体结构的性能。 | ||
搜索关键词: | 半导体 结构 制作方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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