[发明专利]一种用于滚桶式磁控溅射机的自动翻转装置有效
| 申请号： | 202111249981.X | 申请日： | 2021-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN114150280B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 肖连丰;中冈一司;马文鹏;任海宾 | 申请（专利权）人： | 南阳清水科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京隆达恒晟知识产权代理有限公司 11899 | 代理人： | 庄振乾 |
| 地址： | 473000 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于滚桶式磁控溅射机的自动翻转装置，包括一镀膜腔，所述镀膜腔内部设有工件架，顶部设有带动工件架旋转的驱动机构；所述工件架包括底板和设于底板上方的顶板，所述底板与顶板之间设有多个用于放置工件的工件盘，各工件盘两侧均设有台阶，相邻工件盘通过台阶匹配契合形成一外部密封的圆周；各工件盘端部均设有翻转机构，所述顶板上方还设有拨杆机构，工件架旋转时，通过拨杆机构多次拨动翻转机构，使翻转机构带动工件盘正反面实现自动翻转。与现有技术相比，本发明不仅能够实现镀膜时零件正反面的自动翻转，而且能防止膜料衍射污染零件背面的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 滚桶式 磁控溅射 自动 翻转 装置 | ||
【主权项】：
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