[发明专利]一种清洗研磨垫的方法、系统、电子设备及存储介质在审
| 申请号： | 202111255710.5 | 申请日： | 2021-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN114012604A | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 马姣 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B37/005 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 郑久兴 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种清洗研磨垫的方法、系统、电子设备及存储介质，其中清洗方法包括：获取研磨垫研磨晶圆的研磨片数；所述研磨片数达到预设阈值时，生成第一指令；根据所述第一指令控制机台对所述研磨垫执行清洗操作。可以实现机台自动清洗研磨垫上残留的晶边杂质，在研磨垫上的杂质被清洗后，再次对晶圆进行研磨时会减少刮伤影响，降低晶圆刮伤缺陷概率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 研磨 方法 系统 电子设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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