[发明专利]一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构在审
| 申请号： | 202111261589.7 | 申请日： | 2021-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN113817992A | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 薛照明;薛海;杨毅 | 申请（专利权）人： | 成都天一国泰真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/56 |
| 代理公司： | 成都聚蓉众享知识产权代理有限公司 51291 | 代理人： | 刘艳均 |
| 地址： | 610000 四川省成都市龙泉驿区经济技*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于真空镀膜机电子枪的电磁铁偏转结构，属于真空镀膜机设备技术领域，目的在于解决现有设备难以精确调节电子束位置及位置漂移的问题。其包括电子枪主体和电子枪枪头组件，电子枪主体包括电子枪底座，电子枪底座上设有主极靴，电子枪底座上设有电磁铁组件，电磁铁组件包括铁芯，铁芯上绕设有通电线圈，铁芯上设有过线槽孔，通电线圈的引出线过线穿过过线槽孔，铁芯两端开设有固定螺孔，还设有固定螺钉，固定螺钉穿过主极靴与固定螺孔螺纹连接，引出线依次穿过主极靴孔和引出线锁紧螺母并通过柔性波纹管和电气接插件引出到真空室外与精密恒流源电连接，主极靴上安装有电磁铁防护罩。本发明适用于真空镀膜机电子枪。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 机电 电磁铁 偏转 结构 | ||
【主权项】：
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