[发明专利]一种LED晶片的切割裂片方法在审

专利信息
申请号: 202111267421.7 申请日: 2021-10-28
公开(公告)号: CN116053365A 公开(公告)日: 2023-05-02
发明(设计)人: 李法健;王爱杰;吴向龙;闫宝华 申请(专利权)人: 山东浪潮华光光电子股份有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L21/78;H01L21/683;B23K26/38;B28D5/00
代理公司: 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人: 陈桂玲
地址: 261061 *** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明涉及一种LED晶片的切割裂片方法。包括步骤(1)晶片N面向上,N面贴膜,然后晶片P面向上,划片;(2)晶片P面向上,放隔离环,P面贴膜;(3)将晶片翻转,N面向上P面向下,去除N面蓝膜,取下隔离环,划片;N面向上,放隔离环,N面贴膜;(4)晶片翻转,P面向上N面向下,去除P面蓝膜,取下隔离环,划片;(5)P面向上,涂覆保护液,P面贴膜;(6)裂片,清洗,完成LED晶片的切割裂片。本发明提供的切割裂片方法,能够有效避免切割裂片过程中造成的晶片损伤,提高产品合格率,保证产品的效益,并且能完全杜绝蓝膜残胶遗留在晶片表面,提高产品外观及焊线良率。
搜索关键词: 一种 led 晶片 切割 裂片 方法
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