[发明专利]一种分子泵双层防护网及具有其的分子泵在审
| 申请号： | 202111267749.9 | 申请日： | 2021-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN113775537A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 邓高飞 | 申请（专利权）人： | 北京中科九微科技有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/70;F04D29/00;F04D29/64 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 秦广成 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区经济技术开发区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及分子泵技术领域，具体涉及一种分子泵双层防护网及具有其的分子泵。分子泵防护网，包括：支撑环；网本体，层叠设置有两层，安装在支撑环内侧，网本体呈锥形；一对连接法兰，分别设于支撑环两侧，连接法兰的轴线与支撑环的轴线重合，一对连接法兰上还安装有锁紧机构，以将支撑环和一对连接法兰可拆卸连接。当分子泵工作对客户腔体进行抽气且客户腔体一侧的杂质颗粒较多时，通过网本体能够将杂质颗粒隔绝到客户腔体一侧，锥形面的网本体上网眼的整体面积更大，在分子泵工作时能够弥补网本体对分子泵入口阻挡带来的抽速损失。使得分子泵在杂物颗粒较多的恶劣环境下仍能够稳定运行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分子 双层 防护 具有 | ||
【主权项】：
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