[发明专利]一种光刻机光源发生装置有效
| 申请号： | 202111279995.6 | 申请日： | 2021-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN113759490B | 公开（公告）日： | 2022-04-01 |
| 发明（设计）人： | 王华;吴中海;甘泉 | 申请（专利权）人： | 广东科视光学技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/04 | 分类号： | G02B7/04;G03F7/20;H01S3/10 |
| 代理公司： | 深圳市华盛智荟知识产权代理事务所(普通合伙) 44604 | 代理人： | 王晓艳 |
| 地址： | 523000 广东省东莞*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光刻机光源发生装置，包括：底板、安装筒、激光源、调节镜筒、连接驱动机构和光源强度调节机构，所述底板中部开设有通孔，所述底板表面等距固定有固定柱，三个所述固定柱顶部固定有顶板，所述安装筒固定在顶板中部，且安装筒顶部贯穿顶板，所述激光源插接在安装筒内壁，且激光源与顶板固定连接，所述调节镜筒套设在安装筒外侧下端，所述安装筒外侧下端等距开设有弧形槽，所述调节镜筒内壁等距固定有拨柱。本发明通过调节焦距，可调节激光器的聚光点直径，方便生产不同型号的芯片，且在对激光器的聚光点直径进行调节时，可同时调节激光器的功率，防止基板烧坏，且焦距和激光器的功率通过机械方式同时调节，稳定性较强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 光源 发生 装置 | ||
【主权项】：
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