[发明专利]硅棒切割系统在审

专利信息
申请号: 202111285331.0 申请日: 2021-11-01
公开(公告)号: CN114102889A 公开(公告)日: 2022-03-01
发明(设计)人: 戴鑫辉;刘克村;孙鹏;李林;薛俊兵;杨国栋 申请(专利权)人: 青岛高测科技股份有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04
代理公司: 北京科慧致远知识产权代理有限公司 11739 代理人: 王乾旭;赵红凯
地址: 266114 山东省青*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 本申请实施例提供了一种硅棒切割系统,包括:机座,机座具有两组切割工位,每组切割工位包括两个间隔设置的切割工位;每组切割工位对应一套切割子系统;每套切割子系统包括:两个切割装置,固定在机座之上,两个切割装置和两个切割工位一一对应;其中,切割装置用于对切割工位处的硅棒进行切割;上下料装置,与机座固定;其中,上下料装置用于圆形的硅棒的上料和切割形成的方棒的下料;转运装置,安装在机座之上且位于两个所述切割工位之间;其中,转运装置用于将上下料装置上料的硅棒转运至两个切割工位,且用于将两个切割工位上形成的方棒转运至上下料装置。本申请实施例的硅棒切割系统能够进行四个硅棒的切割,切割效率高,且部件较少。
搜索关键词: 切割 系统
【主权项】:
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