[发明专利]一种半导体芯片生产工艺在审
申请号: | 202111300340.2 | 申请日: | 2021-11-04 |
公开(公告)号: | CN113843907A | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
发明(设计)人: | 张承兴 | 申请(专利权)人: | 张承兴 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/02;B28D7/00;B24B7/07;B24B7/22;B24B47/12;B24B41/06;B24B55/06;H01L21/68 |
代理公司: | 北京君恒知识产权代理有限公司 11466 | 代理人: | 夏正付 |
地址: | 230001 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明涉及半导体加工领域,更具体的说是一种半导体芯片生产工艺,该生产工艺包括以下步骤:步骤一:将加工硅晶片的原料进行固定;步骤二:对切割硅晶片的机构进行进给;步骤三;对硅晶片进行切割和清洁;步骤四:对硅晶片进行收集,再次移动切割硅晶片的机构准备完成下一次加工硅晶片。具有能对棒状的硅晶片进行定长切割的优点。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体 芯片 生产工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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