[发明专利]在柔性基材上镀氧化物光学膜的方法和光学复合部件在审
| 申请号： | 202111302460.6 | 申请日： | 2021-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN114214595A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 杨鹏;张俊峰 | 申请（专利权）人： | 万津实业（赤壁）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/20;C23C14/58 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 黎金娣 |
| 地址： | 437300 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种在柔性基材上镀氧化物光学膜的方法和光学复合部件。该方法包括：S1通过磁控溅射的方式，在柔性基材上沉积碳膜，碳膜包含间隔分布的碳颗粒；S2通过磁控溅射的方式，在碳膜上沉积单质膜；S3对碳膜和单质膜进行氧化，分别得到碳氧化物气体和固体氧化物；S4去除碳氧化物气体，制得具有多孔结构的氧化物光学膜。本发明巧妙地在制备方法中引入过程物碳，引入孔洞，使最终制得的氧化物膜层具有疏松的多孔结构，不易脱膜，该方法产能大，效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 基材 氧化物 光学 方法 复合 部件 | ||
【主权项】：
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