[发明专利]一种滤波器芯片的简化制备方法在审
| 申请号： | 202111302862.6 | 申请日： | 2021-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN113992175A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 汪洋;刘亚娟;王小伟;王涛 | 申请（专利权）人： | 上海萍生微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/08 | 分类号： | H03H3/08 |
| 代理公司： | 上海助之鑫知识产权代理有限公司 31328 | 代理人： | 王风平 |
| 地址： | 201210 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及芯片制备技术领域，具体为一种滤波器芯片的简化制备方法，包括以下步骤：清洗压电材料；对压电材料进行一次金属化处理；将压电材料经二氧化硅沉积、光刻、刻蚀、去胶处理；将压电材料进行二次金属化处理；依次重复上述步骤得到滤波器芯片的压电材料；其中，金属化处理包括以下步骤：涂胶、曝光及显影、镀膜、剥离。该滤波器芯片的简化制备方法，在滤波器芯片制备过程中的多次金属化处理工艺上，均通过同一辅料、单一的工艺完成，不用频繁更换蒸发源和进行多次的工艺技术的辩护，杜绝了过多原辅料的申购、存放及工艺参数的复杂设定，降低生产难度，减少生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 滤波器 芯片 简化 制备 方法 | ||
【主权项】：
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