[发明专利]一种热盘的气流风道结构在审
| 申请号： | 202111304665.8 | 申请日： | 2021-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN114042611A | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 汪钢;傅立超 | 申请（专利权）人： | 宁波润华全芯微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/02 | 分类号： | B05D3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 浙江中桓凯通专利代理有限公司 33376 | 代理人： | 李美宝 |
| 地址： | 315400 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种热盘的气流风道结构，包括：排风管道，设有排风口和导风口；导风单元，所述导风单元连通管所述导风口，所述导风单元设有多个热盘安装口；封板，所述封板可拆卸连接所述热盘安装口；其中，所述热盘安装口未使用时通过所述封板密封；所述热盘安装口使用时，所述热盘安装口与热盘连接，所述热盘安装口用于排出所述热盘加热晶圆时产生的废气。本发明有效解决在可容纳多个热盘的加热腔体中，如何控制任意数量的热盘与排风管道导通的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气流 风道 结构 | ||
【主权项】：
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