[发明专利]一种六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器在审
| 申请号： | 202111308306.X | 申请日： | 2021-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN114018989A | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 李丽;唐念;张曼君;黎晓淀;孙东伟;陈锦攀 | 申请（专利权）人： | 广东电网有限责任公司;广东电网有限责任公司电力科学研究院 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 陈旭红;晏静文 |
| 地址： | 510000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，包括：基底、设置于所述基底上的多个气敏单元；所述多个气敏单元中的任意一个气敏单元由相邻气敏单元旋转预设角度得到。本发明提供的六氟化硫分解产物检测用微型阵列式气体传感器，基于阵列的半导体金属氧化物气敏材料多个点位对六氟化硫分解产物进行检测，然后分析每个点以及多点结合等方式组合分析，最终生成检测结果。本发明具有操作简单、成本小、操作简单，检测过程稳定的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 六氟化硫 分解 产物 检测 微型 阵列 气体 传感器 | ||
【主权项】：
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