[发明专利]微机电系统压电麦克风、其制造方法及电子设备在审
| 申请号： | 202111314139.X | 申请日： | 2021-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN114143687A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 邹泉波;王喆 | 申请（专利权）人： | 歌尔微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R17/02 | 分类号： | H04R17/02;H04R31/00 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 王永亮 |
| 地址： | 266101 山东省青岛市崂*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种微机电系统压电麦克风、其制造方法及电子设备。该制造方法包括：在器件衬底上形成压电麦克风器件层，其中，所述器件衬底是激光透明的；对器件衬底进行处理以形成背洞；以及通过从所述器件衬底侧照射激光，利用激光剥离从所述器件衬底释放所述压电麦克风器件层，其中，照射激光的窗口限定释放所述压电麦克风器件层的边界。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 压电 麦克风 制造 方法 电子设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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