[发明专利]加工装置在审
| 申请号： | 202111319232.X | 申请日： | 2021-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN114536131A | 公开（公告）日： | 2022-05-27 |
| 发明（设计）人： | 守屋宗幸;白滨智宏 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B47/20;B24B55/04;B24B55/06;B24B49/02;B24B41/02;B24B41/06;B24B47/22;B24B37/10;B24B37/30;B24B57/02;H01L21/67;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 杨俊波;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供加工装置，能够减少附着于加工室的内壁的加工屑的量。加工装置具有：卡盘工作台；卡盘工作台罩，其具有能够供卡盘工作台的保持面突出的开口；加工单元，其包含主轴、主轴壳体以及设置于从主轴壳体突出的主轴的下端部的圆盘状的安装座部，利用安装于安装座部的下部的加工工具对被加工物进行加工；加工进给机构，其将加工单元沿上下方向进行加工进给；加工室形成罩，其覆盖卡盘工作台和安装座部；以及加工工具罩，其安装于位于加工室形成罩的内部的主轴壳体，具有上壁和侧壁，该上壁具有能够供主轴的下端部插入的插入孔，该侧壁与上壁连接且比上壁向下方突出，该加工工具罩配置于加工室形成罩的内部，通过上壁和侧壁覆盖加工工具的上方和侧方。 | ||
| 搜索关键词： | 加工 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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