[发明专利]蒸镀掩膜版维修装置、系统及方法在审
| 申请号： | 202111329940.1 | 申请日： | 2021-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN114012350A | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 王彦磊 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | B23P6/00 | 分类号： | B23P6/00;C23C14/04;C23C14/24;B21D1/10 |
| 代理公司： | 成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310 | 代理人： | 张红平 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供的蒸镀掩膜版维修装置、系统及方法，涉及显示技术领域。蒸镀掩膜版维修装置由维修基座部分及压头部分组成，在对蒸镀掩膜版进行修复时，将蒸镀掩膜版放置在维修基座部分上，通过压头部分中的压头作用在蒸镀掩膜版中缺陷的压力对蒸镀掩膜版中的异物缺陷和凹凸缺陷进行修复。如此，可以确保采用修复后的蒸镀掩膜版进行有机发光材料层蒸镀时，不会因蒸镀掩膜版中的缺陷使得蒸镀掩膜版与基板之间的距离不一，从而导致不同有机发光材料蒸镀混色的问题，确保制作得到的显示面板在显示时不会存在彩斑现象，提高显示面板的显示质量。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩膜版 维修 装置 系统 方法 | ||
【主权项】：
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