[发明专利]应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法及系统在审
| 申请号： | 202111339886.9 | 申请日： | 2021-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN114063479A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 李佳 | 申请（专利权）人： | 华科电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04;C23F1/08 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人： | 时嘉鸿 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市福田区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种应用于蚀刻机的多路输出模块的射频电源控制方法，包括如下步骤：步骤S01：获取蚀刻任务信息，确定射频电源的控制策略；步骤S02：根据所述控制策略，确定射频电源的控制步骤；步骤S03：根据所述控制步骤，分别确定每个步骤的输出参数，并输入预设的多路输出模块；步骤S04：通过所述多路输出模块，控制所述射频电源进行蚀刻；通过对蚀刻任务信息进行分析确定射频电源的控制策略，增强了控制策略的针对性和准确性，通过控制策略确定出射频电源的控制步骤，使得控制步骤的控制效果更加精确，同时提高了控制效率，最后通过多路输出模块提高了射频电源蚀刻效率。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 蚀刻 输出模块 射频 电源 控制 方法 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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