[发明专利]一种微纳米金属材料的尺寸分析方法、设备及存储介质在审
| 申请号： | 202111348742.X | 申请日： | 2021-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN114216821A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 唐宏浩;周福鸣;和巍巍;汪之涵 | 申请（专利权）人： | 深圳基本半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/02 | 分类号： | G01N15/02 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 廖厚琪 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山区坑梓街道办*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种微纳米金属材料的尺寸分析方法、设备及可读存储介质。其中，微纳米金属材料的尺寸分析方法包括：获取包括多个微纳米金属颗粒的微纳米金属材料相应的显微图像；对显微图像中的微纳米金属颗粒进行随机选取，得到微纳米金属材料的整体样本；统计整体样本中微纳米金属颗粒的尺寸，得到整体样本的第一统计数据；对整体样本中的微纳米金属颗粒进行随机选取，得到微纳米金属材料的子样本；统计子样本中微纳米金属颗粒的尺寸，得到子样本的第二统计数据；根据第一统计数据和第二统计数据，输出微纳米金属材料的尺寸分析结果。本申请填补了相关技术中的空白，所得到的尺寸分析结果对芯片的生产、制造也有重要的实际应用和指导意义。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 金属材料 尺寸 分析 方法 设备 存储 介质 | ||
【主权项】：
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