[发明专利]一种用于太阳能电池的环境友好型扩散源在审
| 申请号： | 202111352418.5 | 申请日： | 2021-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN114068315A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 王孟 | 申请（专利权）人： | 南京欣之禾安全技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/22 | 分类号： | H01L21/22;H01L21/225;H01L31/18;B82Y10/00;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 安徽专烨知识产权代理有限公司 34194 | 代理人： | 陈静 |
| 地址： | 210046 江苏省南京市栖霞区八卦*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于太阳能电池的环境友好型扩散源，属于半导体领域，一种用于太阳能电池的环境友好型扩散源，环境友好型扩散源包括有溶剂、氧化硅纳米球前驱源、杂质源和添加剂，溶剂为无水乙醇或异丙醇，氧化硅纳米球前驱源为甲基三乙氧基硅烷、甲基三甲氧基硅烷以及正硅烷乙酯中的任一一种，杂质源为扩散硼源或扩散磷源，添加剂为氨水、氨气以及液氨中的任一一种，可以通过环境友好型扩散源能够有效解决其在硅片衬底上扩散不均匀的问题，降低扩散不良品的出现，提高了太阳能电池的效率，并且氧化硅纳米球能够有助于改善扩散层掺杂均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 太阳能电池 环境友好 扩散 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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