[发明专利]喷嘴清洗装置、喷嘴清洗方法以及涂布装置在审
申请号: | 202111353549.5 | 申请日: | 2021-11-16 |
公开(公告)号: | CN114950809A | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 柏野翔伍;高村幸宏;安陪裕滋 | 申请(专利权)人: | 株式会社斯库林集团 |
主分类号: | B05B15/50 | 分类号: | B05B15/50;B05B15/55;B05C5/02 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 王蕊;臧建明 |
地址: | 日本京都府京都市上京区堀*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种将从喷嘴的下端部去除的涂布液顺利地排出至涂布装置的外部的喷嘴清洗装置、喷嘴清洗方法以及涂布装置,其包括:附着物去除部,由支撑构件予以支撑;移动部,在使喷嘴抵接构件抵接于喷嘴的下端部的状态下,使附着物去除部沿喷出口的延伸设置方向移动;回收部,在附着物去除部的下方,对通过移动部所造成的喷嘴抵接构件的移动被去除后经由附着物去除部朝下方流动的涂布液进行回收;及排出部,将由回收部所回收的涂布液引导并排出至涂布装置的外部,回收部是具有底部与侧壁的结构体,沿着由底部及侧壁所形成的回收区域使涂布液朝向排出部流动,所述底部在附着物去除部的下方具有朝向排出部倾斜的内底面,所述侧壁是从底部的边部竖立设置。 | ||
搜索关键词: | 喷嘴 清洗 装置 方法 以及 | ||
【主权项】:
暂无信息
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