[发明专利]一种电泵氮化物悬空圆环光频梳激光器及其制备方法有效
| 申请号： | 202111355966.3 | 申请日： | 2021-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN114256735B | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 朱刚毅;李猛;秦飞飞 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | H01S5/042 | 分类号： | H01S5/042;H01S5/065;H01S5/10;H01S5/343 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 许婉静 |
| 地址： | 210023 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种电泵氮化物悬空圆环光频梳激光器及其制备方法，激光器以硅基氮化物外延片为载体，包括自下而上依次设置的硅衬底层、设置在硅衬底底层上表面的n型氮化镓层、量子阱层、p型氮化镓层、设置在p型氮化镓层上的二硫化钼层、p型电极、设置在n型氮化镓层上表面中心的n型电极；激光器具有圆环微腔结构，圆环微腔结构的下方由硅衬底层支撑。制备方法在硅衬底氮化物外延片上，利用光刻、ICP氮化物干法刻蚀、硅湿法刻蚀、电子束蒸镀工艺制备悬空圆环结构的氮化物微腔，将二维材料沉积在p型氮化镓表面，作为频梳的发光区，在圆环发光区和环形微腔增益区重合的表面蒸镀Ni/Au，在圆环中心的n型氮化镓表面蒸镀Ni/Au，最终制备电泵浦光频梳激光器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化物 悬空 圆环 光频梳 激光器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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