[发明专利]一种应用于通信滤光片加工的真空镀膜装置在审
| 申请号： | 202111356185.6 | 申请日： | 2021-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN114150284A | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 刘毅楠 | 申请（专利权）人： | 苏州文迪光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/26 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 胡涛 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于通信滤光片加工的真空镀膜装置，包括：外壳组件，其顶部固定安装有真空气泵，所述真空气泵的管道固定贯穿安装在所述外壳组件上，且外壳组件由箱壳和密封门两部分构成，密封门通过紧固螺栓固定在箱壳上；还包括：储料筒，其设置在所述外壳组件的边侧用于存储镀膜原料，所述储料筒的顶部中心处贯通连接由输气管的一端，且输气管的另一端设置在所述外壳组件的内侧，并且输气管水平贯穿于外壳组件的侧壁设置。该应用于通信滤光片加工的真空镀膜装置，其设置有备滤光片的大批量转移结构，滤光片的拿取更加便捷，不需要多次重复操作，从而提高了工作效率，降低了劳动强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 通信 滤光 加工 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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