[发明专利]一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置在审
| 申请号： | 202111357722.9 | 申请日： | 2021-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN113943925A | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 徐素琴;孟凡越;李骏 | 申请（专利权）人： | 铜陵鸿盛百诚新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/54;C23C14/56 |
| 代理公司： | 合肥汇融专利代理有限公司 34141 | 代理人： | 赵宗海 |
| 地址： | 244000 安徽省铜陵市经济技术*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高稳定性金属化薄膜制备用蒸镀装置，包括蒸镀箱体，所述蒸镀箱体内壁两侧均胶接有密封板，两块所述密封板将蒸镀箱体分成出料腔、蒸镀腔和进料腔，所述蒸镀腔底侧和顶侧分别安装有加热组件和监控组件，蒸镀腔下端前侧还安装有密封门体，所述密封板下端背离蒸镀腔一侧均转动阻尼连接有旋柱，旋柱外壁均套设固定有安装套，安装套上端均固定有翻转框，所述翻转框上下侧内壁转动有夹持辊，翻转框外顶面均固定有半齿轮，所述密封板上端背离蒸镀腔一侧还转动连接有驱动杆。本发明设计合理，装置运行稳定，在蒸镀时能实现金属薄膜来回摆动，从而实现金属薄膜双面高质量镀膜作业，进而大大提高了了金属薄膜镀膜制备的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稳定性 金属化 薄膜 制备 用蒸镀 装置 | ||
【主权项】：
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