[发明专利]一种自适应抛光头在审
| 申请号： | 202111363038.1 | 申请日： | 2021-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN113910100A | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 杨兆明;谢亚楠;李晓峰 | 申请（专利权）人： | 浙江芯晖装备技术有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B41/047;B24B55/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张春辉 |
| 地址： | 314499 浙江省嘉兴市海宁市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自适应抛光头，包括：固定座和设置在固定座下方的固定板，固定板下方设置有底板总成，固定板与底板总成之间夹设有密封膜，底板总成的底面设置有用于吸附晶圆的吸附垫。固定板与密封膜之间设置有第一加压区，第一加压区和底板总成之设置有用于连接底板总成的限位块，密封膜设置在限位块的下方；固定座的顶面向下贯穿至第一加压区设置有第一加压通道，固定板的顶面向下贯穿至第一加压区设置有调整座；调整座下方安装有调整柱，调整柱用于限位防止限位块和底板总成向下脱落；当限位块受力向上移动时，限位块将脱开调整柱的限位，令第一加压区与限位块的下方连通，从而将第一加压区的气体充入密封膜内，密封膜充气可膨胀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自适应 抛光 | ||
【主权项】：
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