[发明专利]一种晶圆喷砂双供料机在审
| 申请号： | 202111373280.7 | 申请日： | 2021-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN113910109A | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 高波 | 申请（专利权）人： | 苏州康沃斯智能装备有限公司 |
| 主分类号： | B24C1/08 | 分类号： | B24C1/08;B24C3/08;B24C3/12;B24C9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆喷砂双供料机，其包括喷砂机，喷砂机包括喷砂机本体和履带输送机，喷砂机本体设置在履带输送机中部的上端，履带输送机的两端伸出喷砂机本体；喷砂机设置有两台，喷砂机分别设置在双供料机的左右两侧，双供料机包括工作台、双供料机构、搬运机构、输送机构和放料机械手；本发明通过双供料机构的设置，能同时向两个喷砂机供料，减少了上料的频率，通过搬运机构、输送机构和放料机械手能对晶圆自动进行搬运，提高了设备的自动化程度，避免了人工的搬运，大大提高晶圆喷砂的效率，通过气浮分离模组和输送机构的设置，减小了晶圆的叠片率，提高了晶圆喷砂上料的稳定性，保证了喷砂质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 喷砂 供料 | ||
【主权项】：
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