[发明专利]半导体装置在审
| 申请号： | 202111391234.X | 申请日： | 2021-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN114678355A | 公开（公告）日： | 2022-06-28 |
| 发明（设计）人： | 金奇奂;张星旭;郑秀珍;曹荣大 | 申请（专利权）人： | 三星电子株式会社 |
| 主分类号： | H01L27/088 | 分类号： | H01L27/088;H01L21/8234 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 刘美华;尹淑梅 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了半导体装置。所述半导体装置包括：有源区，在第一方向上延伸；多个沟道层，在有源区上；栅极结构，在第二方向上延伸；以及源区/漏区，设置在有源区上，并且连接到多个沟道层中的每个，其中，源区/漏区包括：第一外延层，具有下端部分和沿着多个沟道层的侧表面连续延伸的侧壁部分，并且第一外延层掺杂有第一杂质；以及第二外延层，在第一外延层上，具有与第一外延层的成分不同的成分，并且掺杂有第二杂质，其中，第一杂质在第一外延层的成分中的扩散率低于第二杂质在第一外延层的成分中将具有的扩散率。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
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