[发明专利]通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法和装置在审
| 申请号： | 202111405184.6 | 申请日： | 2021-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN114089606A | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 陈成;刘谋强;叶人豪;曾国勇;汪正和;单丹阳 | 申请（专利权）人： | 深圳市尊绅投资有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 徐丽 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了通过监控掩膜版补偿制程偏移量的方法和装置，包括：检测光罩的当前对位标记；判断当前对位标记与镜头视野中央是否重合；如果不重合，则根据当前对位标记计算差异值；将差异值补偿到切换后的产品的当前玻璃片中，并检测当前玻璃片的偏移量；将当前玻璃片的偏移量补偿到下一玻璃片中，并检测补偿结果；通过计算的差异值提前对切换后的产品进行补偿，可以有效避免由于偏移量超出规格而进行的重复补偿，减少首件片的重新加工，有效提升产能。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 监控 掩膜版 补偿 偏移 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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