[发明专利]控制晶棒冷却时间的方法和装置有效
| 申请号： | 202111406191.8 | 申请日： | 2021-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN114164496B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 黄末;陈俊宏 | 申请（专利权）人： | 中环领先（徐州）半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/00 | 分类号： | C30B33/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 花丽 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种控制晶棒冷却时间的方法和装置，所述方法包括以下步骤：将所述晶棒从主室移至具有通风窗的副室进行冷却，所述通风窗上设有用于调节所述通风窗开度的调节门；调节所述调节门使所述通风窗的开度在第一预定时间内由最小值调节至最大值。根据本发明实施例的控制晶棒冷却时间的方法具有冷却速度快、生产效率高、避免骤冷导致晶棒开裂等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 控制 冷却 时间 方法 装置 | ||
【主权项】：
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