[发明专利]一种衍射光栅刻蚀机在审
| 申请号： | 202111410498.5 | 申请日： | 2021-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN114167531A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 孙仙凤 | 申请（专利权）人： | 孙仙凤 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 311600 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种衍射光栅刻蚀机，包括机壳，机壳的内部设有刻蚀腔，刻蚀腔的右端固定设有入料口，刻蚀腔的上端设有水平转动机构，水平转动机构的下端设有竖直移动机构，竖直移动机构的中部设有角度调整机构，角度调整机构的前端设有竖直角度调整机构；通过设置的竖直移动机构、角度调整机构和竖直角度调整机构，通过三个机构之间的联动关系，实现了对光栅位置水平角度和竖直角度的调整；同时通过角度调整机构，实现了在进行光栅衍射时可根据刻蚀品的加工位置自动进行调整；同时通过竖直角度调整机构中设置的伸缩块和伸出块，利用滑块和螺纹之间的传动，实现了竖直角度调整机构水平方向上的自由伸缩。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 衍射 光栅 刻蚀 | ||
【主权项】：
暂无信息
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