[发明专利]一种3DMEMS探针清洗装置有效
| 申请号： | 202111422497.2 | 申请日： | 2021-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN113976520B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 于海超;徐兴光;王艾琳 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B5/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 200000 上海市浦东新区中国（上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种3DMEMS探针清洗装置，包括清洗底座、下固定板组件、上固定板组件、支架、压缩空气喷嘴、清洗液喷嘴、凹槽、泄流槽、弹簧卡扣、下固定环、定位销、纱网、上固定环和固定螺丝。本申请设置有便于安装的清洗底座，能够实现上固定板组件和下固定板组件的快速安装，采用二流体结构，一端进口进清洗液体，一端进口进压缩空气，清洗液被压缩空气打散，然后雾化成直径微小的水滴，最后喷洒到纱网中对3D MEMS探针进行清洗；本申请采用摩擦紧绷方式使纱网被摩擦绷紧，达到绷紧纱网的作用，方便3DMEMS探针的存放，通过安装弹簧卡扣，上固定板可以直接通过卡扣与下固定板组件固定，避免了拧螺丝的繁琐，方便快捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 dmems 探针 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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