[发明专利]一种MOCVD设备的加热系统及MOCVD设备在审
| 申请号： | 202111427462.8 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN113846374A | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 宋涛;朱金华;李辉;周国军;张超 | 申请（专利权）人： | 山西中科潞安紫外光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B25/10;C30B25/12 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 申龙华 |
| 地址： | 047500 山西*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MOCVD设备的加热系统及MOCVD设备，所述加热系统包括加热盘（2）、热辐射防护组件、陶瓷支撑组件、导电组件和绝缘支撑筒（6），热辐射防护组件包括基板（4）和设置在基板（4）上的反射板（3），加热盘（2）通过陶瓷支撑组件支撑在反射板（3）的上方，导电组件包括导电支撑板（5）、铜排（7）和电极（8），铜排（7）与电极（8）相连且电极（8）的上端与导电支撑板（5）相连，基板（4）通过绝缘支撑筒（6）支撑在导电支撑板（5）的上方，导电支撑板（5）通过穿过基板（4）和反射板（3）的接线柱与加热盘（2）相连。其能够满足MOCVD设备对加热系统的要求，实现其温场均匀、稳定的目标。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mocvd 设备 加热 系统 | ||
【主权项】：
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