[发明专利]电源和检查装置在审
申请号: | 202111429458.5 | 申请日: | 2021-11-29 |
公开(公告)号: | CN114630453A | 公开(公告)日: | 2022-06-14 |
发明(设计)人: | 河西繁;藤井郁也 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | H05B1/02 | 分类号: | H05B1/02;G01R31/26 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳;牛孝灵 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供高效且低噪的电源和检查装置。本发明的电源对加热机构供电,该加热机构用于加热能够产生测量信号的测量对象,电源包括:输入部,其用于进行输入信号的输入,该输入信号是通过使控制信号反映到1kHz以下频率的可微分周期性波形上得到的信号;和开关放大部,其利用开关电路将从输入部输入的信号放大并输出。 | ||
搜索关键词: | 电源 检查 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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