[发明专利]掩膜板及掩膜组件在审
| 申请号： | 202111436501.0 | 申请日： | 2021-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN114107897A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 臧公正;李文星;李伟丽;韩冰;张继帅;邱岳 | 申请（专利权）人： | 合肥维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 尹红敏 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种掩膜板及掩膜组件，掩膜板包括蒸镀区域和周边区域，蒸镀区域包括至少一个蒸镀开口；周边区域包括围绕蒸镀区域设置的实体区，实体区上开设有应力释放部，应力释放部围设蒸镀区域呈周向分布。该掩膜板中，在周边区域形成应力释放部，应力释放部减少了实体区中应力集中部分的体积，且由于应力释放部围绕蒸镀区域的周向分布，从而使得实体区的应力得到均匀的释放，通过在周边区域形成应力释放部使得掩膜板在张网时的应变趋于均一，进而使得掩膜板在张网时不易产生褶皱，从而提高了蒸镀良率。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 组件 | ||
【主权项】：
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