[发明专利]BOE废液在线再生的方法在审
| 申请号： | 202111460498.6 | 申请日： | 2021-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN114148992A | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 周贞锋;应悦;应盛荣;姜战;闻涛 | 申请（专利权）人： | 浙江容跃环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B7/19 | 分类号： | C01B7/19;C01C1/02;C09K13/08 |
| 代理公司： | 上海洞鉴知识产权代理事务所(普通合伙) 31346 | 代理人： | 刘少伟 |
| 地址： | 310051 浙江省杭州市滨*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种BOE废液在线再生的方法，包括：BOE废液与氨或碱反应；再经过双极膜电渗析膜组处理；浓缩并精制为超纯氨水；将氢氟酸稀液蒸馏提浓后，与超纯浓硫酸混合，得到氟化氢气体和稀硫酸；稀硫酸用电渗析分离为超纯稀硫酸和废液，再经过加热浓缩为超纯浓硫酸和废水，超纯浓硫酸在本系统回用，废液和废水去污水处理站；氟化氢气体提纯，得到超纯氢氟酸溶液；与超纯氨水按照比例配制为BOE原液，加入表面活性剂后，回到半导体产线。本发明在线再生BOE废液，真正实现了变废为宝，循环经济，绿色环保的价值取向，适合工业化推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | boe 废液 在线 再生 方法 | ||
【主权项】：
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