[发明专利]一种晶圆级堆叠结构光学玻璃的切割方法在审
| 申请号： | 202111496265.1 | 申请日： | 2021-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN114180822A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 李亚雄;张强 | 申请（专利权）人： | 华天慧创科技（西安）有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/10 | 分类号： | C03B33/10;C03B33/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 张宇鸽 |
| 地址： | 710018 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆级堆叠结构光学玻璃的切割方法，属于晶圆级光学玻璃切割技术领域，用以满足堆叠结构光学玻璃的切割质量要求，同时规避由于刀刃暴露量过长出现的问题。晶圆级堆叠结构光学玻璃的切割方法先对晶圆级光学玻璃堆叠结构一端(第一面)切割，切割至沿着切割方向1/2‑2/3的位置停止切割，后又经过翻转倒膜，通过对准光线穿过另一端(第二面)再识别第一面的刀痕印记，从而保证切割两面位置一致，保证在垂直方向尺寸精度进行切割，完成整个晶圆级堆叠结构光学玻璃的切割。切割后的玻璃背面崩边小、稳定和尺寸精度高，提高了切割质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆级 堆叠 结构 光学玻璃 切割 方法 | ||
【主权项】：
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