[发明专利]一种金刚石薄膜具有密封性的制备装置在审
申请号: | 202111506731.X | 申请日: | 2021-12-10 |
公开(公告)号: | CN114182229A | 公开(公告)日: | 2022-03-15 |
发明(设计)人: | 乐务时 | 申请(专利权)人: | 金豹科技(苏州)有限公司 |
主分类号: | C23C16/27 | 分类号: | C23C16/27;C23C16/44;C23C16/455 |
代理公司: | 湖南楚墨知识产权代理有限公司 43268 | 代理人: | 麦振声 |
地址: | 215000 江苏省苏州市自由贸易试验区苏州片*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种金刚石薄膜具有密封性的制备装置,属于金刚石薄膜制备领域。一种金刚石薄膜具有密封性的制备装置,包括底座、压紧机构和支架,所述底座的外侧设置有连接框,且连接框的顶部安装有连接座,并且连接座的底部设置有密封条,所述压紧机构设置于连接座的外侧,且压紧机构的顶部设置有密封防护罩,所述底座的顶部开设有加工槽,且加工槽的内部设置有导向杆,并且导向杆的顶部设置有加工台,所述加工台的底部设置有弹簧;本发明设置有压紧机构,能够便捷稳定的加装防护罩,保证设备内部加工环境为密封环境,有效提高加工稳定与安全,同时设备能够灵活调节加工头位置与角度,利于满足不同使用需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 金刚石 薄膜 具有 密封性 制备 装置 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的