[发明专利]一种光刻机掩膜版的智能存取方法在审
| 申请号： | 202111515215.3 | 申请日： | 2021-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN114287753A | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 牛立久;张雪奎;刘增增;周一雷;徐金鑫 | 申请（专利权）人： | 山东华楷微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | A47B81/00 | 分类号： | A47B81/00;A47B67/04;A47B88/453;A47B97/00 |
| 代理公司： | 苏州金项专利代理事务所(普通合伙) 32456 | 代理人： | 金星 |
| 地址： | 276800 山东省日照市日照高新区高新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻机掩膜版的智能存取方法，包括以下步骤：S1、提供一个智能存取装置；S2、将各种规格的掩膜版放置在对应的掩膜版盒中；S3、将各掩膜版盒放入到对应的收纳盒中，其对应关系通过操作面板进行存储；S4、抽气风机启动；S5、从操作面板中输入所要取出掩膜版的规格；S6、电控柜驱动顶推机构移动到收纳盒的后方；S7、顶推机构动作将该收纳盒推出；S8、取出该收纳盒中的掩膜版盒并关闭收纳盒。该智能存取方法能够更好更迅速的存取掩膜版，避免灰尘的附着，避免掩膜版放错。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 机掩膜版 智能 存取 方法 | ||
【主权项】：
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