[发明专利]一种待转移器件的位置识别方法及设备在审
| 申请号： | 202111525067.3 | 申请日： | 2021-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN114332205A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 何烽光;周致远;王文超;冯晓庆;李建中 | 申请（专利权）人： | 合肥欣奕华智能机器有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/70 | 分类号： | G06T7/70;G06T1/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 路晓丹 |
| 地址： | 230013 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本申请提供一种待转移器件的位置识别方法及设备；在转移设备的目标基台上承载的Wafer的分布区域中，识别到目标标记区域后，确定目标标记区域对应的标记点的第一目标位置坐标，分布区域为待转移器件在Wafer中的占用区域，基于第一目标位置坐标和标记点对应的第一历史位置坐标，确定坐标转换关系，第一历史位置坐标是基于预先识别的Wafer中各个待转移器件的第二历史位置坐标中的至少一个确定的，第二历史位置坐标是相对辅助设备的位置坐标，且转移设备和辅助设备的坐标系相同；基于坐标转换关系，对Wafer中的各个待转移器件的第二历史位置坐标进行转换，获得各个待转移器件相对转移设备的第二目标位置坐标，缩短识别时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 转移 器件 位置 识别 方法 设备 | ||
【主权项】：
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