[发明专利]一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机有效
| 申请号： | 202111528465.0 | 申请日： | 2021-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN114227481B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 龚胜;胡天;徐志强;陈逢军 | 申请（专利权）人： | 湖南艾凯瑞斯智能科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B27/00 | 分类号： | B24B27/00;B24B41/00;B24B41/06;B24B47/22;H01L21/67 |
| 代理公司： | 长沙中科启明知识产权代理事务所(普通合伙) 43226 | 代理人： | 谭勇 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市高新开发区*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及砂轮划片机技术领域，且公开了一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机，包括机架，所述机架的顶部固定连接有床身，所述床身的顶部固定连接有盖板。该多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机，通过多工位结构和多工位同步给料结构的设置，通过将晶圆本体放进放料筒的内部，使晶圆本体的底部活动连接在滑动槽二的内部，启动电动气缸，电动气缸的输出端带动着滑动板在滑动槽一的内部滑动，当滑动板向后端移动的同时，也带动着活动块也跟随着移动，活动块移动的时候推动着晶圆本体向后侧移动，使晶圆本体通过两个送料孔和通孔一、矩形孔一、矩形孔二掉进放置板的顶部，这样实现了多工位同步给料的作用，同时达到了提高加工效率的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多工位 同步 晶圆加 工用 砂轮 划片 | ||
【主权项】：
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