[发明专利]一种抛光液落点测量装置在审
| 申请号： | 202111533314.4 | 申请日： | 2021-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN113977450A | 公开（公告）日： | 2022-01-28 |
| 发明（设计）人： | 许振杰;梁清波 | 申请（专利权）人： | 华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/34;B24B49/00;B24B57/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300350 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抛光液落点测量装置，其包括固定座、水平板和定位件，所述固定座用于可拆卸地设置于化学机械抛光设备的抛光盘的外周壁，所述水平板连接于所述固定座的顶部并朝抛光盘的中心延伸，所述定位件设置于所述固定座的侧部并位于水平板之下；所述定位件的内侧壁为与抛光垫的外径相匹配的圆弧结构；抛光液落至所述水平板的上表面，水平板的上表面设置有刻度线以量测抛光液的滴落位置；其中，所述水平板的上表面形成为亲水或超亲水表面，以防止滴落在其表面的抛光液形成液珠在惯性作用下移动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 落点 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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