[发明专利]半导体存储器装置在审

专利信息
申请号: 202111534109.X 申请日: 2021-12-15
公开(公告)号: CN114639684A 公开(公告)日: 2022-06-17
发明(设计)人: 林根元;高秉贤;权容真;申重植 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/11582 分类号: H01L27/11582
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 尹淑梅;刘灿强
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 公开了一种半导体存储器装置。所述半导体存储器装置可以包括:模制结构,包括交替地堆叠在第一基底上的模制绝缘膜和栅电极;沟道结构,穿透模制结构并且与栅电极相交;块分离区域,沿与第一基底的上表面平行的第一方向延伸并且切割模制结构;第一坝区域和第二坝区域,彼此间隔开,在平面图中均具有闭合环并且均切割模制结构;垫绝缘膜,位于第一坝区域和第二坝区域中,与模制绝缘膜交替地堆叠,并且包括与模制绝缘膜的材料不同的材料;以及贯穿过孔,穿过第一基底、模制绝缘膜和垫绝缘膜,位于位于第一坝区域中但是不位于第二坝区域中。
搜索关键词: 半导体 存储器 装置
【主权项】:
暂无信息
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