[发明专利]一种微纳米复合结构的制作方法在审
| 申请号： | 202111535460.0 | 申请日： | 2021-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN114347623A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 陈艳;冯鸿涛;高顺畅 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | B32B33/00 | 分类号： | B32B33/00;B32B3/08;B32B3/24;B32B3/30;B32B7/12;B32B27/06;B32B27/28;B32B27/30;B32B27/32;B32B27/36 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 李珊珊 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种微纳米复合结构的制作方法，包括如下步骤：提供第一支撑件，在第一支撑件上形成塑形层，塑形层的形状可变；在塑形层上层叠设置分隔层，分隔层形成有第一通孔；在分隔层上层叠设置纳米模板，纳米模板包括第一基层和多个纳米柱，且纳米模板与分隔层相接触，多个纳米柱的尺寸小于第一通孔的尺寸；在纳米模板上层叠设置第二支撑件，挤压第一支撑件和/或第二支撑件，以使得塑形层至少部分自第一通孔进入分隔层，且与第一基层接触，纳米柱在塑形层上形成第一凹槽，以使塑形层形成微纳米复合结构，本制作方法通过挤压一次形成微纳米复合结构，其加工简单，难度系数小，适合应用在工业生产中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 复合 结构 制作方法 | ||
【主权项】：
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