[发明专利]一种金属反射镜的制备方法以及金属反射镜在审
| 申请号： | 202111543187.6 | 申请日： | 2021-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN114214590A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 穆希;李西军 | 申请（专利权）人： | 西湖大学 |
| 主分类号： | C23C14/10 | 分类号： | C23C14/10;C23C14/08;C23C14/06;C23C14/18;C23C14/35;G02B5/08 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 范继晨 |
| 地址： | 310024 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本公开实施例提供一种金属反射镜的制备方法以及金属反射镜，所述制备方法包括以下步骤：在衬底层的表面上依次沉积过渡层和金属层，其中，在沉积所述过渡层的过程中通入氩气和氧气，使得所述过渡层的氧含量逐步变化，在沉积所述金属层的过程中通入氧气或者氮气，使得所述金属层的氧含量或者氮含量逐步变化；在所述金属层上沉积至少一组折射层。本公开实施例能够实现高性能的反射镜的连续稳定生产，提高核心的金属层与衬底层之间的结合力，降低产品潜在的结构风险，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 反射 制备 方法 以及 | ||
【主权项】：
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