[发明专利]气体分流组件和具有其的晶体生长装置有效
| 申请号： | 202111547069.2 | 申请日： | 2021-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN114411249B | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 李向阳;陈俊宏 | 申请（专利权）人： | 中环领先（徐州）半导体材料有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B27/00 | 分类号： | C30B27/00;C30B27/02 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 赵静 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种气体分流组件和具有其的晶体生长装置，晶体生长装置还包括炉体，炉体形成有保护气进口，气体分流组件适于设于炉体内且位于保护气进口的下游侧，气体分流组件包括多个分流件，多个分流件沿气流流向间隔排布，每个分流件包括多个支撑框和多个散风筋组，支撑框为环形，多个支撑框沿炉体的径向依次套设设置，每组散风筋组包括沿炉体的周向间隔设置的散风筋，相邻两个支撑框之间通过一组散风筋组相连，每个散风筋的两端分别与相应的两个支撑框相连。根据本发明的气体分流组件，可以使得流至炉体内的保护气气流较为均匀、稳定，以保证晶体生长的固液界面处的温度梯度较为稳定，提升晶体品质。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 分流 组件 具有 晶体生长 装置 | ||
【主权项】：
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