[发明专利]晶棒脱胶装置在审
| 申请号： | 202111549984.5 | 申请日： | 2021-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN114161592A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 黄兆皓 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟材料科技有限公司;西安奕斯伟硅片技术有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 廖叶子 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种晶棒脱胶装置，包括能够容纳待脱胶的晶棒组件的箱体；所述箱体内容纳有溶解剂，待脱胶的晶棒组件容纳于所述箱体内时，连接于所述晶棒上的固体胶浸没于所述溶解剂内；加热结构，设置于所述箱体内，用于加速所述固体胶与晶棒的分离。通过溶解剂溶解和加热的方式相配合，加速晶棒脱胶，提高脱胶效率。 | ||
| 搜索关键词： | 脱胶 装置 | ||
【主权项】：
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